9　月　17　日


R　会　場　　総合教育研究棟 3 階

半 導 体 材 料
Semiconductors

　座 長　池田　賢一　（9 : 30～10 : 30）

668　MBE Growth and Characterization of Mn Doped β-FeSi2 Films

東北大多元研 ○紀世陽　片平裕子　王吉豊
電磁研 阿部世嗣　増本　剛　東北大多元研 林載元
ソニー宮城 打越雅仁　東北大多元研 三村耕司　一色　実

669　溶融塩-Si 交換反応による β-FeSi2 の生成

東大工院 ○米山　毅　生産研(現：阪大工) 吉川　健
生産研 森田一樹

670　CVT 法による Fe-Si 化合物結晶の成長

東北大多元研 ○王吉豊　斉藤　繁　紀世陽　一色　実

671　b 軸配向 BaTi2O5 多結晶体の誘電特性に及ぼす Nb2O5 および La2O3 置換の影響

東北大金研 ○塗溶　後藤　孝

― 15 分 休 憩 ―

　座 長　松尾　直人　（10 : 45～11 : 45）

672　スパッタリング法によるナノグラニュラー構造 Ge/Ta2O5 薄膜の作製と屈折率

電磁研 ○阿部世嗣　大沼繁弘

673　Si2H6 を用いた SiC 薄膜の低温合成

物・材機構 ○鈴木　裕　荒木　弘　土佐正弘　野田哲二

674　RF スパッタリング法により作製された Si1－x－yGexCy/Si 半導体界面の微細構造

久留米高専 ○奥山哲也　山崎有司　専攻科 江崎哲也
佐賀工技セ 円城寺隆志　臼井一郎

675　熱分解ガスパッシベーションを用いて低温成長させた極薄 Si 酸化膜の界面過剰 Si 数密度

NTT マイクロシステム研 山田　宏

― 昼　　　食 ―

　座 長　藤村　紀文　（13 : 00～14 : 15）

676　低温結晶化技術(1)―a-Si 薄膜への軟 X 線照射による物性改質―

兵庫県立大工 ○松尾直人　上拾石和也
高度研 天野　壮　工 部家　彰
高度研 宮本修治　望月孝晏　神田一浩　新部正人
日本技術セ 竹迫涼一　明昌機構 足立真士

677　水素変調ドープが a-Si 薄膜のレーザ結晶化に与える効果

兵庫県立大工 ○松尾直人　田中直樹　部家　彰
阪大 芹川　正　山口大 河本直哉

678　電磁力の間欠印加による太陽電池用球状 Si の高速製造

東北大環境(院生) ○佐藤　誠　環境 嶋崎真一　谷口尚司
Univ. of Greenwich V. Bojarevics

679　アルミニウム誘起結晶化法による多結晶シリコン薄膜形成過程

九大総理工 ○池田賢一
(院生)(現：三菱重工業) 廣田　健
(院生) 藤本健資 杉本陽平
産学連携セ(現：崇城大工) 井 誠一郎　産学連携セ 中島　寛
総理工 中島英治

680　FZ 法により成長した Si バルク結晶中 ∑5 粒界の構造変化と電気的特性

東北大金研(院生) ○沓掛健太朗　宇佐美徳隆
藤原航三　野瀬嘉太郎　伊藤　俊　菅原孝昌
宍戸統悦 中嶋一雄

― 15 分 休 憩 ―

　座 長　竹田　美和　（14 : 30～15 : 45）

681　Er 添加 TiO2 の 1.5 μm 帯のフォトルミネッセンスに及ぼす金属元素の影響

名大院工(院生) ○鮎川達也
(現：エヌ・ティ・ティ) 小森敏敬　南開大 周　震
京大院工 小泉　淳　名大院工 竹田美和　森永正彦

682　ファイバープローブを用いた ZnO 粒子の個別カソードルミネセンス

筑波大院 ○大山将也
筑波大物質，科技機構 木塚徳志

683　OMVPE 成長した Er, O 共添加 GaAs の発光特性に及ぼす基板温度の影響

阪大工院 ○藤井　慧　日高圭二
平松　隆　寺井慶和　藤原康文

684　蒸気圧制御温度差法による InP 基板上の InPSb 液相エピタキシャル成長

東北大工(院生) ○菅井麻希　院工 小山　裕
半導体研 丹野剛紀　西澤潤一

685　分子層エピタキシ法による GaSb ドット形成

東北大工(院生) ○佐藤翔太　学振特別研究員 大野武雄
東北大院工 小山　裕　半導体研 西澤潤一

― 15 分 休 憩 ―

　座 長　福山　博之　（16 : 00～17 : 30）

686　化学気相輸送法による酸化亜鉛単結晶の大型化と評価

東北大多元研 ○洪相輝　安尾暁彦　王吉豊　三村耕司
一色　実
住友金属鉱山 正　義彦

687　中遠赤外 PbTe 半導体レーザの作製とイメージング応用

東北大(院生) ○加藤良和
院 安田　新　田邉匡生　小山　裕
半導体研 須藤　建 西澤潤一

688　高融点金属ナイトライド電極を用いたダイヤモンド深紫外線フォトダイオード

物・材機構 ○小出康夫　メイヨン リョオ
フランス国立科学研究セ ホセ アルバレッツ

689　新しい手法による AlN 複合体の形成

明星大理工 ○清宮義博　篠田哲守　(学生) 廣崎龍児

690　γ-AlON 共析温度以下におけるサファイア窒化挙動

東北大多元研(院生) ○中村克仁
多元研 小畠秀和　福山博之　中村　崇　トクヤマ 箱守　明
東北大金研 西嶋雅彦　平賀賢二

691　First-principles Study on Effective Doping in IVA Group Spinel Nitrides

東大工(院生) ○王　昊　陳　迎　金田保則　新領域 岩田修一