薄膜材料
Thin Films
F 会 場 自然科学本館1階
座長 中村 吉男 (13:00~14:00)
100.  In-Situ連続測定によるAZO透明導電膜の比抵抗の温度変化
  法政大理工 高山 新司 新井 佑樹 吉川 達郎
101.  Al添加省In組成ITOスパッタ薄膜の低抵抗化と高赤外透過性
  東北大多元研 大塚 誠 中村 崇
102.  Cu2O/ZnO:M (M = Ga, Al) 積層薄膜の結晶配向へのドーパントの影響
  京大工(院生) 塚松 祐太 片山 翔太 
京大低温 林 博之 
京大工 大場 史康 田中 功
103.  RFマグネトロンスパッタにより成膜したFe-O-N薄膜の電気的特性評価
  東北大工(院生) 小川 由希子 
東北大工 安藤 大輔 須藤 祐司 小池 淳一
――10分休憩――
座長 高山 新司 (14:10~15:25)
104.  Mesoplasma CVD applied for large-area deposition of epitaxial Si films with high rate
  東大工 WU Sudong 澤田 賢人 山本 貴規 神原 淳 吉田 豊信
105.  金属下地層によるAlN薄膜の極性制御 -収差補正STEMによる観察-
  東工大院理工、東理大基礎工 春本 高志 
東工大院理工 三宮 工 村石 信二 史 蹟 中村 吉男 
東理大基礎工 石黒 孝
106.  プリミティブ格子によるfcc(111)高配向薄膜の構造評価法
  東工大院理工 中村 吉男 
東理大基礎工 春本 高志 
東工大院理工 三宮 工 村石 信二 史 蹟 
東理大基礎工 石黒 孝
107.  PLD法によるSn2Nb2O7エピタキシャル薄膜の作製
  京大工(院生) 片山 翔太 小河 佑介 
京大低温 林 博之 
京大工 大場 史康 田中 功
108.  PbTeおよびZnSeソースHWD法による複相構造薄膜のワンステップ成膜
  電磁研 阿部 世嗣 星 信夫
――10分休憩――
座長 阿部 世嗣 (15:35~16:35)
109.  短範囲規則を持つナノホールを配置したAl/AlN極薄膜多層膜における光学共鳴
  東工大(院生) 池ノ谷 優一郎 
東工大 須佐 匡裕 史 蹟 中村 吉男 三宮 工 
Chalmers工科大 Andreas Dahlin
110.  Cr-Nひずみセンサ薄膜の感度温度係数
  電磁研 丹羽 英二 佐々木 祥弘 白川 究 小野寺 隆視
111.  スパッタ成膜中におけるイオン衝撃が薄膜特性に及ぼす影響
  東海大工(学生) 橋本 真希 豊田 椋一 戸谷 聡一郎 
東海大工(院生) 郡 亜美 
東海大工 松村 義人
112.  Magnetic behavior of FePt/AlN Layered Structure
  東工大理工(院生) 張 聡 
東工大理工 史 蹟 中村 吉男 村石 信二 三宮 工